上海精测中标长江存储集成式膜厚量测仪

据悉，精测电子控股子公司上海精测半导体技术有限公司中标长江存储的3台集成式膜厚光学关键尺寸量测仪。

上海精测以椭圆偏振技术为核心，在 1 年多时间内开发了适用于半导体工业级应用的膜厚测量以及光学关键尺寸测量系统，包括集成式膜厚测量机 EFILM 300IM、集成单 / 双模块膜厚测量机 EFILM 300DS、高性能膜厚及 OCD 测量机 EPROFILE 300FD 等产品型号。近日实现 3 台来自长江存储的集成式膜厚光学关键尺寸量测仪订单，表明上海精测已具备晶圆制造环节的膜厚量测设备重复、批量供应能力。

据了解，精测电子控股子公司上海精测半导体技术有限公司已完成股权变更，新增六位股东，分别为上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业、上海青浦投资有限公司、上海精圆管理咨询合伙企业、国家集成电路产业投资基金股份有限公司(国家大基金一期)、马骏和刘瑞林。其中，国家大基金一期此次注资 1 亿人民币，对上海精测半导体持股 15.38%，为并列第二大股东。